特許
J-GLOBAL ID：200903077119994398
有機ジルコニウム化合物及び該化合物を含む有機溶液並びにそれを用いて作製されたジルコニウム含有薄膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-045877
公開番号（公開出願番号）：特開2002-275121
出願日： 2001年02月22日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 従来のZr化合物よりも、分解温度が低く、Pb,Ti化合物の分解温度に近似し、Zr化合物単独で気化残渣が少なく、Pb,Ti化合と混合しても反応しにくく気化残渣が少ない有機ジルコニウム化合物を提供する。【解決手段】 一般式1の有機ジルコニウム化合物。RはC4又は5の分岐アルキル基、L1,L2及びL3はそれぞれβジケトン化合物であって互いに同一又は異なる。化合物の具体例にはターシャリブトキシトリス2,2,6,6-テトラメチル3,5-ヘプタジオナートジルコニウムZr(tBuo)1(thd)3があり、その質量スペクトルを図1に示す。
請求項（抜粋）：
ジルコニウムにβジケトン化合物と分岐アルキル基を有するアルコキシ基とが結合した次の式(1)で表される有機ジルコニウム化合物。【化1】但し、Rは炭素数が4又は5の分岐アルキル基、L1,L2及びL3はそれぞれβジケトン化合物であって互いに同一であるか又は異なる。
IPC (3件)：
C07C 49/92
, C07F 7/00
, C23C 16/40
C07C 49/92
, C07F 7/00 A
, C23C 16/40
4H006AA01
, 4H006AB78
, 4H006AB91
, 4H049VN06
, 4H049VP01
, 4H049VQ21
, 4H049VU24
, 4H049VW02
, 4K030AA11
, 4K030BA42
, 4K030FA10
, 4K030LA01
