特許
J-GLOBAL ID：200903077262406936
エアロックバルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-145609
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337253
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：
【要約】【課 題】 開閉動作が確実で且つパーティクルの発生が少ないエアロックバルブを提供すること。エアロックチャンバ内部のベント圧力が適切な状態でベントを行えるエアロックバルブを提供すること。【解決手段】 軸支持部材16が壁部材1の開口2に接近したときにアーム姿勢保持部材(26,27)に抗して弁板23を閉塞位置に移動させる弁板開閉用カム8dと、軸支持部材16を前記壁部材1に沿って移動させる軸支持部材作動装置(11+12+29)とを備え、エアが流入したときに伸長する伸長ポートおよび収縮する収縮ポートを有するエアエアシリンダ11と、前記エアシリンダ11を伸長させる伸長位置、収縮させる収縮位置、および前記伸長ポートおよび収縮ポートを大気に連通させる大気連通位置に切替可能に構成された前記軸支持部材作動装置(11+12+29)とを備えたエアロックバルブ。
請求項（抜粋）：
次の要件(A01)〜(A04)を備えたエアロックバルブ、(A01)壁部材に形成された試料通過用の開口、(A02)前記壁部材に沿って前記開口に接近または離隔可能に支持された軸支持部材と、前記軸支持部材に支持された軸と、前記軸の中心線周りに回転可能なアームと、前記アームの先端部に連結されるとともに前記軸支持部材が前記開口に接近したときに前記開口を閉塞する閉塞位置に移動し且つ前記軸支持部材が開口から離隔する方向に移動したときに開口から離隔する弁板と、前記弁板が前記閉塞位置から離れた状態で前記アームの姿勢を所定姿勢に弾性的に保持するアーム姿勢保持と、を有する移動部材、(A03)前記軸支持部材が前記開口に接近したときに前記アーム姿勢保持部材に抗して前記弁板を前記閉塞位置に移動させる弁板開閉用カム、(A04)前記軸支持部材を前記壁部材に沿って前記開口に接近または離隔する方向に移動させる軸支持部材作動装置。
Fターム (3件)：
3H076AA21
, 3H076BB43
, 3H076CC41
