3次元位置計測方法および3次元位置計測に用いる装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-167296
公開番号（公開出願番号）：特開2006-343153
出願日： 2005年06月07日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：

【課題】測定光として円偏光または楕円偏光を投射する3次元計測において、1回反射光と2回反射光との受光強度の大小関係にかかわらず確実に正しい計測結果を求める。【解決手段】測定光として円偏光または楕円偏光を測定物体に投射し、前記測定物体からの反射光を光電変換して第1の信号を取得し、前記測定物体からの反射光を1/4波長板に入射させ、さらに前記1/4波長板を通過した反射光を、前記測定物体で2回反射した2回反射光を弱める偏光デバイスに入射させ、前記偏光デバイスを通過した反射光を光電変換して第2の信号を取得し、前記第1の信号と前記第2の信号との差異を利用して2回反射光成分を除去する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

測定物体へ投射する測定光の投射角度と測定物体で反射した測定光の受光角度とに基づいて、測定物体における測定光で照射された部位の位置を特定する3次元位置計測方法であって、測定光として円偏光または楕円偏光を測定物体に投射し、前記測定物体からの反射光を光電変換して第1の信号を取得し、前記測定物体からの反射光を1/4波長板に入射させ、さらに前記1/4波長板を通過した反射光を、前記測定物体で2回反射した2回反射光を弱める偏光デバイスに入射させ、前記偏光デバイスを通過した反射光を光電変換して第2の信号を取得し、前記第1の信号と前記第2の信号との差異を利用して2回反射光成分を除去する信号処理を、前記第1の信号または前記第2の信号に対して行い、前記信号処理で得られる第3の信号に基づいて投射角度と受光角度の組を決めることを特徴とする3次元位置計測方法。

IPC (1件)：

G01B 11/00

FI (1件)：

G01B11/00 H

Fターム (28件)：

2F065AA04 , 2F065AA17 , 2F065AA19 , 2F065BB05 , 2F065CC14 , 2F065CC16 , 2F065DD04 , 2F065FF01 , 2F065FF02 , 2F065FF09 , 2F065FF42 , 2F065FF65 , 2F065GG06 , 2F065HH05 , 2F065HH10 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL08 , 2F065LL13 , 2F065LL32 , 2F065LL36 , 2F065LL46 , 2F065LL62 , 2F065MM16 , 2F065NN00 , 2F065QQ03 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平2-184705号公報
形状検出方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-289153 出願人：松下電工株式会社

審査官引用 (5件)

特開平2-184705
特開平2-243911
変位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-271711 出願人：アンリツ株式会社

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