特許

J-GLOBAL ID：200903077377161759

エネルギー線照射装置とその方法

発明者： 栗田 剛
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (2件)： 和田 成則 ,  茅原 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-151091
公開番号（公開出願番号）：特開2006-328151
出願日： 2005年05月24日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：

【課題】機器処理能力の向上、ガス消費量の低減、機器設置スペースの削減を図るのに好適なエネルギー線照射装置とその方法を提供する。【解決手段】ウエハWに貼り付けられた紫外線硬化型の接着剤Aを有する保護シートTを剥離するにあたり、前記保護シートTの接着剤Aに紫外線を照射し、その接着力を低下させる際に、支持部材3で前記保護シートT付きウエハWを吸着保持し、この状態でUVランプ2から紫外線が照射される。その際、支持部材3のウエハ吸着保持領域SAに隣接するガス吐出領域GAから窒素ガスNが噴出するようにする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被着体に貼り付けられたエネルギー線硬化型の接着剤を有する接着シートを剥離するにあたり、前記接着剤にエネルギー線を照射し、前記接着剤を硬化させ、接着力を低下させるためのエネルギー線照射装置であって、 前記エネルギー線照射装置は、 前記被着体を吸着保持する支持部材と、 前記接着シートにエネルギー線を照射するエネルギー線照射手段とを有し、 前記支持部材は、 前記被着体の吸着保持領域に隣接するガス吐出領域を有すること を特徴とするエネルギー線照射装置。

IPC (1件)：

C09J 5/00

FI (1件)：

C09J5/00

Fターム (13件)：

4J004AA01 ,  4J004AB07 ,  4J004FA08 ,  4J040JA09 ,  4J040JB08 ,  4J040NA20 ,  4J040PA32 ,  4J040PA42 ,  5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031MA34 ,  5F031MA38 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 紫外線照射方法およびそれを用いた装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-066561   出願人：日東電工株式会社

審査官引用 (1件)

• 紫外線硬化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-369071   出願人：ソニー株式会社