特許
J-GLOBAL ID：200903025138018375
紫外線照射方法およびそれを用いた装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-066561
公開番号（公開出願番号）：特開2004-281430
出願日： 2003年03月12日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：
【課題】フレームに紫外線感応型の粘着テープを介して保持したワークを略水平状態を維持したまま紫外線照射処理を行う。【解決手段】紫外線照射処理部Bにおいて、リング状の支持台に支持されたリング状フレーム3に紫外線感応型の粘着テープ2を介して保持された半導体ウエハ1の下面の位置が、支持台の下部に設けられた規制部材11によって制限される。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ワークの裏面に貼り付けられた紫外線感応型の粘着テープを介して、前記ワークを保持しているフレームとワークに向けて、紫外線を照射する紫外線照射方法において、
前記ワークへの紫外線照射時に、前記フレームに保持されているワークの下面を支持して紫外線を照射することを特徴とする紫外線照射方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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