複酸化物蛍光体薄膜及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-390744
公開番号（公開出願番号）：特開2003-183646
出願日： 2001年12月25日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】複酸化物蛍光体薄膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】複酸化物蛍光体の薄膜を該複酸化物を構成する成分酸化物薄膜の層間反応により作製する方法であって、該複酸化物を構成する成分酸化物薄膜を発光中心となる金属イオンを任意に添加して基板上に1回以上積層した後、加熱処理を行うことにより、成分酸化物薄膜間の反応を進行させて目的とする複酸化物蛍光体層を薄膜内に形成させることを特徴とする複酸化物蛍光体薄膜の製造方法。

請求項（抜粋）：

複酸化物蛍光体の薄膜を該複酸化物を構成する成分酸化物薄膜の層間反応により作製する方法であって、該複酸化物を構成する成分酸化物薄膜を発光中心となる金属イオンを任意に添加して基板上に1回以上積層した後、加熱処理を行うことにより、成分酸化物薄膜間の反応を進行させて目的とする複酸化物蛍光体層を薄膜内に形成させることを特徴とする複酸化物蛍光体薄膜の製造方法。

IPC (7件)：

C09K 11/08 , C09K 11/00 , H05B 33/10 , H05B 33/14 , C09K 11/59 CPN , C09K 11/59 CPR , C09K 11/62

FI (8件)：

C09K 11/08 B , C09K 11/00 A , C09K 11/00 F , H05B 33/10 , H05B 33/14 Z , C09K 11/59 CPN , C09K 11/59 CPR , C09K 11/62

Fターム (12件)：

3K007AB02 , 3K007AB18 , 3K007FA01 , 3K007FA03 , 4H001CA01 , 4H001CF01 , 4H001XA08 , 4H001XA14 , 4H001XA30 , 4H001XA31 , 4H001YA24 , 4H001YA25

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-209693
薄膜EL素子及びその製造方法、並びにそのために使用するスパッタ用ターゲット
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-266859 出願人：富士ゼロックス株式会社
エレクトロルミネッセンス素子の製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-212332 出願人：南内嗣, 高田新三

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