特許
J-GLOBAL ID：200903077428588590

固体撮像素子及びその製造方法

発明者：
津川 英信

津川 英信 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-146708
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332711
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 所望の光学特性を得るようにオンチップレンズを最適化することが可能であり、また外部レンズのF値による感度特性の変化が少ない固体撮像素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 強誘電体材料12により形成されたオンチップレンズ10を有して成る固体撮像素子1を構成する。これは、第1の透明電極層11を形成して、この第1の透明電極層11上に強誘電体膜12をレンズ10の形状に加工し、この強誘電体膜12を覆って第2の透明電極層13を形成して両透明電極層を通じてオンチップレンズ10に電界を印加し、屈折率を可変できる固体撮像素子。
請求項（抜粋）：
強誘電体材料により形成されたオンチップレンズを有して成ることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (7件)：
H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  G02B 3/10 ,  H01L 27/148 ,  H01L 31/0232 ,  H04N 5/335 ,  H04N 9/07
FI (8件)：
G02B 3/00 A ,  G02B 3/10 ,  H04N 5/335 U ,  H04N 5/335 V ,  H04N 9/07 A ,  H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 B ,  H01L 31/02 D
Fターム (26件)：
4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA40 ,  4M118CB14 ,  4M118FA06 ,  4M118GB11 ,  4M118GD01 ,  4M118GD04 ,  5C024AX01 ,  5C024CX00 ,  5C024CX27 ,  5C024DX01 ,  5C024EX43 ,  5C065BB48 ,  5C065DD02 ,  5C065DD15 ,  5C065EE10 ,  5C065EE11 ,  5F088BA01 ,  5F088BB03 ,  5F088FA04 ,  5F088JA12
引用特許：
審査官引用 (7件)
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