特許
J-GLOBAL ID:200903077430442587

導電性ボール配列用マスク及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-216266
公開番号(公開出願番号):特開2006-324618
出願日: 2005年07月26日
公開日(公表日): 2006年11月30日
要約:
【課題】所定の配列パターンに対応した開口部11aを有し、前記開口部11aに導電性ボール13を振り込むことで所定の位置に前記導電性ボール13を搭載する配列用マスクにおいて、導電性ボール13を所定の位置に精度良く配列させる。【解決手段】配列用マスクの被搭載体14と対面する側に突起部11cを一体的に形成する。これによって、配列用マスクと被搭載体14との位置合わせがしやすくなり、その結果、導電性ボール13が所定の位置に搭載されるので不良を減らすことができる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
所定の配列パターンに対応した開口部11aを有し、前記開口部11aに導電性ボール13を振り込むことで所定の位置に前記導電性ボール13を搭載する配列用マスクであって、前記配列用マスクの被搭載体14と対面する側には突起部11cが一体的に形成されていることを特徴とする配列用マスク。
IPC (3件):
H01L 21/60 ,  H01L 23/12 ,  H05K 3/34
FI (3件):
H01L21/92 604H ,  H01L23/12 501Z ,  H05K3/34 505A
Fターム (6件):
5E319AA03 ,  5E319AC17 ,  5E319BB04 ,  5E319CC33 ,  5E319CD26 ,  5E319GG15
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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