特許

J-GLOBAL ID：200903077531652809

加速度センサ

発明者： 公平 徹 ,  今村 孝浩
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-043875
公開番号（公開出願番号）：特開平7-253441
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】 加速度センサに関し、構成が簡単で小型化が図れ、かつ、大きな出力を得ることができる加速度センサを提供することを目的とする。【構成】 基板1と、この基板1の上に取り付けられた板状の圧電素子2と、この板状の圧電素子2の上に重ねて設けられる板状の重り3とを備え、外部からの加速度によって重り3に慣性力を発生させ、この慣性力で圧電素子2に応力を与え、圧電素子2に発生した電圧もしくは電荷を外部に取り出すことによって加速度の大きさを検出する加速度センサにおいて、基板1と重り3の間に、検出しようとする加速度の方向に対して分極方向を異ならせた複数の圧電素子2を設け、これら複数の圧電素子2の重り側と基板側には、各圧電素子2を電気的に直列接続する導通手段4と、電気的に直列接続された圧電素子2の両端部から電圧もしくは電荷を取り出す電極5を設けて構成する。

請求項（抜粋）：

基板(1) と、この基板(1) の上に取り付けられた板状の圧電素子(2) と、この板状の圧電素子(2) の上に重ねて設けられる板状の重り(3) とを備え、外部からの加速度によって前記重り(3) に慣性力を発生させ、この慣性力で前記圧電素子(2) に応力を与え、前記圧電素子(2) に発生した電圧もしくは電荷を外部に取り出すことによって前記加速度の大きさを検出する加速度センサであって、前記基板(1) と前記重り(3) の間に、検出しようとする加速度の方向に対して分極方向を異ならせた複数の圧電素子(2) が設けられ、これら複数の圧電素子(2) の重り側と基板側には、各圧電素子(2) を電気的に直列接続する導通手段(4) と、電気的に直列接続された圧電素子(2) の両端部から電圧もしくは電荷を取り出す電極(5) が設けられていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/09 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/09

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-094220   出願人：株式会社村田製作所
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-127290   出願人：株式会社村田製作所
• 特開昭62-081572
  

審査官引用 (3件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-094220   出願人：株式会社村田製作所
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-127290   出願人：株式会社村田製作所
• 特開昭62-081572