特許
J-GLOBAL ID：200903077563589017

光学特性検出装置

発明者：
杉山 喜和

杉山 喜和 について

, 
勝沼 淳

勝沼 淳 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-216547
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035363
出願日： 1998年07月16日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：
【要約】【課題】 サンプルの厚さにかかわらず、簡易な構成で正確にサンプルの光学的特性を測定できる光学特性検出装置を提供すること【解決手段】 光束供給部SPと、回転可能な第1及び第2反射鏡M1、M2と、第1及び第2楕円面鏡ELM1ELM2と、第1及び第2変換光学素子PM1、PM2と、第1及び第2反射鏡を回転させる反射鏡回転駆動部MT1、MT2とを有する。そして、第1反射鏡は、第1楕円面鏡の第1焦点位置近傍FAに配置され、第1及び第2楕円面鏡は、第1楕円面鏡の第2焦点位置と第2楕円面鏡の第1焦点位置とが所定位置近傍FBにて実質的に一致するように配置され、第2反射鏡は、第2楕円面鏡の第2焦点位置近傍FCに配置され、反射鏡回転駆動部は、光束供給部からの光束の被測定物に対する入射角θを変更するように第1反射鏡を回転駆動させる。
請求項（抜粋）：
所定位置に配置されている被測定物に光束を照射し、該被測定物を介した光束に基づいて前記被測定物の光学特性を検出する光学特性検出装置において、所望の波長の光束を射出する光束供給部と、回転可能に設けられて、該光束供給部からの光束を反射させる第1反射鏡と、楕円面状の反射面を有し前記第1反射鏡からの光束を反射させる第1楕円面鏡と、楕円面状の反射面を有し前記第1楕円面鏡からの光束を反射させる第2楕円面反射鏡と、回転可能に設けられて、前記第2楕円面鏡からの光束を反射させる第2反射鏡と、前記第1反射鏡からの光束をほぼ平行光束に変換して前記被測定物へ導く第1変換光学素子と、前記被測定物を透過した前記第1変換光学素子からの光束を前記第2反射鏡近傍で集光させる第2変換光学素子と、前記第1及び第2反射鏡を回転させる反射鏡回転駆動部とを有し、前記第1反射鏡は、前記第1楕円面鏡の第1焦点位置近傍に配置され、前記第1及び第2楕円面鏡は、前記第1楕円面鏡の第2焦点位置と前記第2楕円面鏡の第1焦点位置とが前記所定位置近傍にて実質的に一致するように配置され、前記第2反射鏡は、前記第2楕円面鏡の第2焦点位置近傍に配置され、前記反射鏡回転駆動部は、前記光束供給部からの光束の前記被測定物に対する入射角を変更するように前記第1反射鏡を回転駆動させることを特徴とする光学特性検出装置。
IPC (3件)：
G01J 3/42 ,  G01N 21/41 ,  G01N 21/59
FI (3件)：
G01J 3/42 Z ,  G01N 21/41 Z ,  G01N 21/59 Z
Fターム (12件)：
2G020CA02 ,  2G020CA03 ,  2G020CC02 ,  2G020CC07 ,  2G020CC51 ,  2G020CC55 ,  2G059AA02 ,  2G059BB15 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059JJ13 ,  2G059LL01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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