洗浄液および洗浄方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-005400
公開番号（公開出願番号）：特開平9-194887
出願日： 1996年01月17日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：

【要約】【課題】 ?@加熱を行うことなく室温で処理が可能であり、?A薬品・水の使用量が少なくてすみ、?B特有の装置を用いる必要がなく、しかも、?C特有の薬品を用いる必要のない洗浄液および洗浄方法を提供すること。【解決手段】本発明の洗浄液は、純水中に、酸素を20ppb〜100ppb、窒素を2ppb以上含有することを特徴とする。また、OH-を含む電解イオン水中に、酸素を20ppb〜100ppb含有することを特徴とする。本発明の洗浄方法は、純水中に、酸素を20ppb〜100ppb、窒素を2ppb〜15ppm含有する洗浄液に30kHz以上の超音波を付与しつつ被洗浄物の洗浄を行うことを特徴とする。また、OH-を含む電解イオン水中に、酸素を20ppb〜100ppb含有する洗浄液に30kHz以上の超音波を付与しつつ被洗浄物の洗浄を行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

純水中に、酸素を20ppb〜100ppb、窒素を2ppb以上含有することを特徴とする洗浄液。

IPC (3件)：

C11D 7/00 , B08B 3/10 , H01L 21/304 341

FI (3件)：

C11D 7/00 , B08B 3/10 Z , H01L 21/304 341 L

引用特許：

審査官引用 (5件)

洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-232280 出願人：大見忠弘
純水供給システム及び洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-188146 出願人：大見忠弘
ウエット処理方法及び処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-169956 出願人：株式会社フロンテック, オルガノ株式会社, 大見忠弘

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