特許

J-GLOBAL ID：200903077648540726

画像情報生成装置及び画像情報生成方法。

発明者： 村上 繁男
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-028689
公開番号（公開出願番号）：特開2009-186404
出願日： 2008年02月08日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：

【課題】安価に構成することができ、使用することができる状況の制約が少なく、2次元画像情報及び3次元情報の両方を高速に生成することができる画像情報生成装置を提供する。【解決手段】処理選択部260は、投影用光源204を消灯させ照明用光源214を点灯させているフレームFL1,FL3,FL5,・・・にカメラ224に第1の撮像を行わせ生成させた画像信号をデジタル化した第1の画像データD1,D3,D5,・・・を投影可否判定部270に処理させ、照明用光源214を消灯させ投影用光源204を点灯させているフレームFL2,FL4,FL6,・・・にカメラ224に第2の撮像を行わせ生成させた画像信号をデジタル化した第2の画像データD2,D4,D6,・・・を3次元情報生成部262に処理させる。3次元情報生成部262は、半導体ウエハWに関する3次元情報を画像データD2,D4,D6,・・・から生成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

2次元画像情報及び3次元情報の両方を生成する画像情報生成装置であって、 撮像を行い2次元画像情報を生成する撮像部と、 平行光を照射し幾何パターンを投影する投影用光源と、 前記撮像部が生成した2次元画像情報のうちの前記投影用光源が投影した幾何パターンに関する部分から3次元情報を生成する3次元情報生成部と、 前記投影用光源の点灯及び前記撮像部の撮像のタイミングを制御する制御部と、 前記撮像部が生成した2次元画像情報に対する処理を選択する処理選択部と、 を備え、 前記制御部は、 前記投影用光源を点灯させていないときに前記撮像部に第1の撮像を行わせて第1の2次元画像情報を生成させ、前記投影用光源を点灯させているときに前記撮像部に第2の撮像を行わせて第2の2次元画像情報を生成させ、 前記処理選択部は、 第2の2次元画像情報を前記3次元情報生成部に処理させる、 画像情報生成装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G06T 1/00 ,  G01C 3/06

FI (4件)：

G01B11/00 H ,  G01B11/26 H ,  G06T1/00 315 ,  G01C3/06 120S

Fターム (55件)：

2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA19 ,  2F065AA37 ,  2F065AA51 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD01 ,  2F065DD06 ,  2F065DD19 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065NN02 ,  2F065NN20 ,  2F065PP04 ,  2F065PP05 ,  2F065PP25 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ38 ,  2F065TT08 ,  2F112AA09 ,  2F112BA04 ,  2F112BA05 ,  2F112BA09 ,  2F112BA12 ,  2F112CA04 ,  2F112DA02 ,  2F112DA32 ,  2F112EA11 ,  2F112FA03 ,  2F112FA07 ,  2F112FA12 ,  2F112FA21 ,  2F112FA32 ,  2F112FA38 ,  2F112FA45 ,  2F112GA01 ,  5B057AA05 ,  5B057DA20 ,  5B057DB02 ,  5B057DC08 ,  5B057DC16

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 障害物測定方法及び障害物測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-208116   出願人：ダイハツ工業株式会社
• ズームによる位置計測方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-030249   出願人：独立行政法人科学技術振興機構