特許
J-GLOBAL ID：200903077682559983

光学系の製造方法、および該製造方法で製造された光学系を備えた露光装置

発明者：
谷元 昭一

谷元 昭一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-089242
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286989
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：
【要約】【課題】 個々のレンズに屈折率分布や面形状誤差がある程度存在しても、たとえば波面収差で10mλ以下の極低収差の投影光学系を製造する。【解決手段】 レンズを形成する光学材料における屈折率分布を計測する屈折率分布計測工程(S11)と、レンズにおける表面形状を計測する面形状計測工程(S13)と、屈折率分布計測工程の計測結果と面形状計測工程の計測結果とに基づいてレンズの光学的誤差(波面誤差)を求め、その算出結果に基づいてレンズの表面に対して所定の厚さ分布を有する薄膜(反射防止膜)を形成する補正膜形成工程(S14)とを含む。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つのレンズを有する光学系の製造方法において、前記少なくとも1つのレンズを形成する光学材料における屈折率分布を計測する屈折率分布計測工程と、前記少なくとも1つのレンズにおける表面形状を計測する面形状計測工程と、前記屈折率分布計測工程の計測結果と前記面形状計測工程の計測結果とに基づいて前記少なくとも1つのレンズの光学的誤差を求める算出工程と、前記算出工程の算出結果に基づいて前記少なくとも1つのレンズの表面に対して所定の厚さ分布を有する薄膜を形成する補正膜形成工程とを含むことを特徴とする光学系の製造方法。
IPC (9件)：
G02B 7/02 ,  G01J 9/02 ,  G01M 11/00 ,  G01M 11/02 ,  G02B 1/11 ,  G02B 13/00 ,  G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (9件)：
G02B 7/02 C ,  G01J 9/02 ,  G01M 11/00 L ,  G01M 11/02 B ,  G02B 13/00 ,  G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 1/10 A ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (15件)：
2G086FF01 ,  2G086HH06 ,  2G086HH07 ,  2H044AA17 ,  2H044AC01 ,  2H044AJ03 ,  2H044AJ04 ,  2H087KA21 ,  2K009AA02 ,  2K009DD03 ,  2K009DD04 ,  2K009EE00 ,  5F046BA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25
引用特許：
審査官引用 (2件)

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