反射防止膜

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-147019
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329702
出願日： 1996年06月10日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】半導体製造用ステッパーに用いる光学素子に対して反射防止効果の優れた反射防止膜を提供する。【解決手段】少なくとも、波長150〜300nmの波長範囲内の任意の設計基準波長λ0に対し、前記波長の光を透過する基板上に基板側から光学的膜厚が0.05λ0〜0.15λ0の低屈折率層、光学的膜厚が0.2λ0〜0.35λ0の高屈折率層、光学的膜厚が0。2λ0〜0。3λ0の低屈折率層を順次積層してなる反射防止膜。

請求項（抜粋）：

少なくとも、波長150〜300nmの波長範囲内の任意の設計基準波長λ0に対し、前記波長の光を透過する基板上に基板側から光学的膜厚が0.05λ0〜0.15λ0の低屈折率層、光学的膜厚が0.2λ0〜0.35λ0の高屈折率層、光学的膜厚が0。2λ0〜0。3λ0の低屈折率層を順次積層してなる反射防止膜。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭61-077002
特開昭57-138602
光学部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-180530 出願人：コニカ株式会社

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