特許
J-GLOBAL ID：200903077764215506
構造体およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-265648
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169268
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：
【要約】【課題】炭化珪素膜が窒化アルミニウム焼結体の表面に形成されている耐蝕性部材において、炭化珪素膜の焼結体への接合状態が良好であり、耐蝕性部材に対して熱サイクルを加えたときに炭化珪素膜の剥離が生じにくいようにする。【解決手段】耐蝕性部材は、窒化アルミニウム焼結体と、焼結体の表面に形成されている炭化珪素膜と、焼結体と炭化珪素膜との間に生成している中間層とを備えており、中間層が主として窒化珪素からなる。好ましくは、中間層中に5重量%以下の炭素と5重量%以下のアルミニウムとが含有されており、中間層の厚さが0.2μm以上である。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウム焼結体と、この焼結体の表面に形成されている炭化珪素膜と、前記焼結体と前記炭化珪素膜との間に生成している中間層とを備えており、この中間層が主として窒化珪素からなることを特徴とする、構造体。
IPC (4件)：
C04B 41/89
, C04B 41/87
, H05B 3/16
, H01L 21/68
C04B 41/89 Z
, C04B 41/87 G
, C04B 41/87 M
, C04B 41/87 D
, H05B 3/16
, H01L 21/68 R
