特許
J-GLOBAL ID：200903077764586121
プローブユニットの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-086267
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286755
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：
【要約】【課題】 基板から突出した弾性ビームを有するプローブユニットの形成にあたって、リードあるいは弾性ビームを傷めるおそれがなく、基板に適正に支持され、互いに隣接するリード間のピッチが微小なピッチであっても適正にピッチが保たれたプローブユニットを製造する。【解決手段】 基板の凹部内に犠牲層を設け、基板から犠牲層上にまで延在したリードを形成し、次いで、裏面側から、基板を通過して犠牲層の一部にまで達する切り込みを入れ、次いで上記残存犠牲層を除去することを特徴とする、リードの先端が基板の端部から突出してなるプローブユニットの製造方法、貫通孔を設けた基板、または化学切削性ガラス基板上にリードを形成し、次いで、金属層またはリード先端部の化学切削性ガラスを選択的にエッチングするプローブユニットの製造方法。
請求項（抜粋）：
基板の表面に形成した凹部を埋める犠牲層を形成し、この基板表面に多数のリードを、その先端が犠牲層上に至るまで並列に形成し、次いで、基板の裏面から上記犠牲層に至る切り目を入れた後、犠牲層を除去することを特徴とする、リードの先端が基板の端部から突出してなるプローブユニットの製造方法。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 1/073 F
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
2G003AA07
, 2G003AB01
, 2G003AG03
, 2G011AA15
, 2G011AA21
, 2G011AB06
, 2G011AB09
, 2G011AC14
, 2G011AE22
, 4M106BA01
, 4M106DD03
, 4M106DD09
