特許
J-GLOBAL ID：200903077809058733
重ね合わせ検査システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
古谷 史旺
, 森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-310917
公開番号（公開出願番号）：特開2006-128186
出願日： 2004年10月26日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】 露光工程の補正の枚葉化と高精度化との双方を実現可能な重ね合わせ検査システムを提供する。【解決手段】 搬送容器14から取り出された基板10Aが少なくとも露光工程と現像工程とを経て搬送容器に回収されるまでの経路に組み込まれ、現像工程を経た後の基板の重ね合わせ検査を複数の点で行う第1検査装置11と、前記経路の外に配置され、第1検査装置を経て搬送容器に回収された後の基板が該搬送容器から改めて取り出されたときに、該基板の重ね合わせ検査を第1検査装置よりも多くの点で行う第2検査装置12と、第1検査装置による検査結果と第2検査装置による検査結果とに基づいて、露光工程の補正用データを生成する生成手段(上記の検査装置11,12の画像処理部)とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
搬送容器から取り出された基板が少なくとも露光工程と現像工程とを経て前記搬送容器に回収されるまでの経路に組み込まれ、前記現像工程を経た後の前記基板におけるレジストパターンと下地パターンとの重ね合わせ検査を、前記基板のうち複数の点で行う第1検査装置と、
前記経路の外に配置され、前記基板におけるレジストパターンと下地パターンとの重ね合わせ検査を、前記基板のうち前記第1検査装置よりも多くの点で行う第2検査装置と、
前記第1検査装置による重ね合わせ検査の結果と前記第2検査装置による重ね合わせ検査の結果とに基づいて、前記露光工程の補正用データを生成する生成手段とを備えた
ことを特徴とする重ね合わせ検査システム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 514E
, G03F7/20 521
, H01L21/30 502V
5F046AA17
, 5F046BA03
, 5F046FC04
