特許
J-GLOBAL ID：200903077829672675

集積型薄膜素子およびその製造方法

発明者：
松下 孟史

松下 孟史 について

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山内 一志

山内 一志 について

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水野 真一

水野 真一 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-373242
公開番号（公開出願番号）：特開2000-196116
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 素子の剥離を防止し、オーミック接触の形成に長時間を要することなく、製造歩留りが向上すると共に製造コストの低減化を図ることのできる集積型薄膜素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】 太陽電池素子10をプラスチックフィルム基板21に転写したのち、太陽電池素子10の配列方向に直交する方向に、レーザビームLBをプラスチックフィルム基板21側から照射して分離溝31aを形成する。次に、反射鏡23が形成されたプラスチックフィルム基板22を、接着層25によって太陽電池素子10の裏面側に接着させる。続いて、分離溝31aに対して、柔軟性を有する透明の絶縁材料、例えばEVAを充填して素子分離層31を形成する。その後、プラスチックフィルム基板21側からレーザビームLBを照射して、陰極13および陽極14に達するスルーホール15aを形成する。続いて、銀ペーストからなるコンタクト電極を形成し、スルーホール15a介して隣接する太陽電池素子10間を電気的に接続させる。
請求項（抜粋）：
柔軟性を有する支持基板に対して、半導体層に形成された複数の薄膜素子を少なくとも一方向に配列してなる集積型薄膜素子において、前記複数の薄膜素子のうち隣接する素子間に柔軟性を有する絶縁材料よりなる少なくとも1つの素子分離層を有することを特徴とする集積型薄膜素子。
Fターム (11件)：
5F051BA15 ,  5F051BA17 ,  5F051DA01 ,  5F051EA02 ,  5F051FA14 ,  5F051GA04 ,  5F051GA05 ,  5F051GA06 ,  5F051GA14 ,  5F051GA20 ,  5F051HA20
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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