特許

J-GLOBAL ID：200903077858375434

ダイシング装置

発明者： 福岡 一也
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-363001
公開番号（公開出願番号）：特開2000-188267
出願日： 1998年12月21日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】【課題】ブレードの破損を検出する破損検出器の受光部の汚れを早期に検出することにより、ウェーハの切断効率を向上させることができるダイシング装置を提供する。【解決手段】本発明は、ブレード18のフランジカバー36に破損検出器を設け、この破損検出器の受光フォトダイオード44として、ブレード18の損傷を検出する破損検出用の受光フォトダイオードBの他に、受光フォトダイオード44の汚れをチェックする汚れチェック専用の受光フォトダイオードAを設けた。この受光フォトダイオードAによって、受光フォトダイオード44の汚れを早期に検出し、ウェーハの切断効率を向上させる。

請求項（抜粋）：

切断刃をカバーで覆い該切断刃を回転させてウェーハを所定の形状に切断するダイシング装置において、前記切断刃の欠け、磨耗等の損傷を検出する破損検出手段が前記カバーに取り付けられ、前記破損検出手段は、前記切断刃を挟んで取り付けられた投光部と受光部とを備え、前記破損検出手段の前記受光部は、受光部の汚れをチェックする汚れチェック用受光部と、切断刃の損傷を検出する破損検出用受光部とからなり、前記汚れチェック用受光部は、前記破損検出用受光部よりも切断刃の径方向の外側に取り付けられていることを特徴とするダイシング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  B24B 27/06 ,  B24B 49/12

FI (3件)：

H01L 21/78 F ,  B24B 27/06 M ,  B24B 49/12

Fターム (12件)：

3C034AA13 ,  3C034AA19 ,  3C034BB91 ,  3C034CA22 ,  3C034CA30 ,  3C034CB13 ,  3C034DD18 ,  3C058AA03 ,  3C058AC02 ,  3C058BA09 ,  3C058BC03 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 精密切削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-192682   出願人：株式会社ディスコ
• ダイシングブレードおよびダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-066942   出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社