特許
J-GLOBAL ID：200903077901794438
膜厚検知装置及び蒸着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-165773
公開番号（公開出願番号）：特開2009-001885
出願日： 2007年06月25日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：
【課題】蒸着室内の膜厚検知装置の振動子を蒸着室内において再生することで蒸着装置の稼動効率を向上させる。【解決手段】複数の振動子5を振動子ホルダー4に設置する。作動位置Aにおいて膜厚を測定する振動子5の表面にある程度の厚さの蒸着膜が堆積したら、ヒーターブロック8による加熱が可能で、周囲を冷却されたシールド1の壁面で覆われた不作動位置Bに振動子5を移動させ、振動子表面の蒸着膜を脱離させて再生する。この間、作動位置Aにおいては別の振動子5を用いて膜厚の測定を継続する。この工程を繰り返すことで蒸着室を大気開放することなく長期に亘り蒸着を続けることが可能になる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
振動子の重量変化を測定することによって、蒸着室内で被蒸着基板に蒸着される薄膜の膜厚を検知する膜厚検知装置において、
前記蒸着室内に配置された複数の振動子と、
前記複数の振動子をそれぞれ、前記蒸着室内の作動位置と不作動位置との間で移動させる移動手段と、
前記不作動位置において、各振動子に付着した蒸着材料を脱離させる再生手段と、
前記作動位置において、各振動子を振動させて前記薄膜の膜厚を検知するための駆動手段と、を有することを特徴とする膜厚検知装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, H01L 51/50
, H05B 33/10
C23C14/24 U
, H05B33/14 A
, H05B33/10
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG32
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB02
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029DA03
, 4K029DB06
, 4K029DB14
, 4K029DB18
, 4K029EA01
