特許
J-GLOBAL ID:200903077956390387

光学デバイス用基板と光学デバイスおよび光学デバイスの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 須山 佐一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-173569
公開番号(公開出願番号):特開2002-362943
出願日: 2001年06月08日
公開日(公表日): 2002年12月18日
要約:
【要約】【課題】 画像装置において画像の曇りが生じない光学デバイス用基板を提供する。【解決手段】 本発明の光学デバイス用基板は、Raが0.9nm以下でかつRmsが1.5nm以下の表面粗さを有する。基板材料としては、視感度補正ガラス、色ガラス、石英ガラス、水晶および透明板ガラスから選択される材料が使用される。この基板の少なくとも一面に、高屈折率の誘電体薄膜と低屈折率の誘電体薄膜とを交互に積層した多層膜のような光学的機能膜が形成される。
請求項(抜粋):
表面に誘電体の多層膜が形成されて光学デバイスとして画像装置に使用される基板であり、算術平均粗さ(Ra)が0.9nm以下でかつ二乗平均粗さ(Rms)が1.5nm以下である表面粗さを有することを特徴とする光学デバイス用基板。
IPC (6件):
C03C 19/00 ,  C03C 17/34 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/08 ,  G02B 1/11 ,  G02B 5/28
FI (7件):
C03C 19/00 Z ,  C03C 17/34 Z ,  C23C 14/06 G ,  C23C 14/08 E ,  C23C 14/08 J ,  G02B 5/28 ,  G02B 1/10 A
Fターム (43件):
2H048GA01 ,  2H048GA04 ,  2H048GA09 ,  2H048GA14 ,  2H048GA19 ,  2H048GA33 ,  2H048GA60 ,  2H048GA61 ,  2K009BB02 ,  2K009BB04 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009DD08 ,  2K009DD16 ,  2K009FF00 ,  4G059AA01 ,  4G059AA11 ,  4G059AA18 ,  4G059AA20 ,  4G059AB03 ,  4G059AC04 ,  4G059AC07 ,  4G059EA01 ,  4G059EA04 ,  4G059EA05 ,  4G059EA09 ,  4G059EA10 ,  4G059EB03 ,  4G059GA01 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4K029AA09 ,  4K029BA42 ,  4K029BA43 ,  4K029BA44 ,  4K029BA48 ,  4K029BA51 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029FA03
引用特許:
審査官引用 (4件)
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