特許
J-GLOBAL ID：200903077997603689

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者：
田中 庸司

田中 庸司 について

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木村 伯世

木村 伯世 について

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丹野 清仁

丹野 清仁 について

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角丸 肇

角丸 肇 について

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久保田 直宏

久保田 直宏 について

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富永 信秀

富永 信秀 について

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石崎 幸二

石崎 幸二 について


出願人/特許権者：
旭電化工業株式会社

旭電化工業株式会社 について

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日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-023137
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236031
出願日： 1993年02月12日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 弱アルカリ水溶液によって短時間で解像度よく現像でき、その光硬化物が、密着性、可とう性に優れ、かつアルカリエッチングに対して強い耐性を有する感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 特定のTg、分子量のビニル系共重合化合物と、特定構造のエチレン性不飽和化合物2種(例えば、2,2-ビス〔4-(メタクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル〕プロパンとβ′-アクリロイルオキシエチル-γ-クロル-β-ヒドロキシプロピル-o-フタレート)、特定構造の光開始剤3種(例えば、1,7-ビス(9-アクリジニル)ヘプタンとベンジルジメチルケタールとベンゾフェノン誘導体)を含有してなる感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント。
請求項（抜粋）：
(A)メタクリル酸、メタクリル酸メチル及びアクリル酸エチルを共重合させて得られるTg50〜120°C、重量平均分子量30,000〜150,000のビニル系共重合化合物、(B)一般式(I)で表わされるエチレン性不飽和化合物、【化1】(式中、R1、R2、R3及びR4はそれぞれ独立してH又はCH3を示し、n及びmはn+m=8〜12になるように選ばれる正の整数を示す)(C)一般式(II)で表わされるエチレン性不飽和化合物、【化2】(式中、Zは環式二塩基酸残基、R5は炭素原子数1〜3のアルキレン基、R6は水素原子又はメチル基を示し、R7は水素原子、メチル基、エチル基又はCH2X(Xは塩素原子又は臭素原子を示す)を示す)(D)一般式(III)で表される光開始剤、【化3】(式中、R8は炭素原子数6〜12のアルキレン基を示す)(E)一般式(IV)で表わされる光開始剤及び【化4】(式中、Ar1及びAr2はそれぞれ独立して無置換フェニル基又は炭素原子数1〜3のアルキル基若しくは炭素原子数1〜3のアルコキシ基で置換されたフェニル基を表わし、R9及びR10はそれぞれ独立して炭素原子数1〜9のアルキル基を示す)(F)一般式(V)で表わされる光開始剤【化5】(式中、R11、R12、R13及びR14はそれぞれ独立して水素原子又は炭素原子数1〜3のアルキル基を示す)を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/038 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00
引用特許：
審査官引用 (21件)
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