高抵抗透明導電膜付ガラス

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：東海裕作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-266174
公開番号（公開出願番号）：特開平8-109043
出願日： 1994年10月05日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】通電耐湿試験でリニアリティ値が増大しない、透明ガラス基板上に透明導電膜が成膜された透明導電膜付ガラス及び成膜する方法を提供する。【構成】透明ガラス基板上に二酸化珪素膜が60〜150nmの膜厚で形成され、その上に屈折率1.7〜2.2の透明導電膜が10〜30nmの膜厚で形成された透明導電膜付ガラス。

請求項（抜粋）：