積層型圧電体素子とその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋祥泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-308808
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203999
出願日： 2001年10月04日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】耐久性に優れ,製造時の工程管理が容易な積層型圧電体素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】圧電スタック10に第1側面電極11,第2側面電極12を設けてなる。圧電層131,132と内部電極層141,142とは略同面積で,内部電極層141,142は圧電スタック10の側面101,102にそれぞれ端部が露出し,第1側面電極11は,内部電極層141の端部に第1絶縁部111を設けて,これの上に第1導電部121を設けてある。第2側面電極12も同様である。そして,第1及び第2絶縁部111,112は絶縁性樹脂より構成され第1及び第2導電部112,122は導電性樹脂より構成される。

請求項（抜粋）：

印加電圧に応じて伸縮する圧電層と印加電圧供給用の内部電極層とを交互に積層構成した圧電スタックと,該圧電スタックのある側面に第1側面電極を,他の側面に第2側面電極を設けて,各側面電極によって,圧電層を介して隣り合う内部電極層が異なる極性に通電されるよう構成された積層型圧電体素子において,上記圧電層と上記内部電極層とは略同面積に構成され,上記内部電極層は上記圧電スタックの側面に端部が露出した状態にあり,上記第1側面電極は,ある側面に露出した内部電極層の端部に対し,一層おきに第1絶縁部を設けて上記端部を被覆し,上記第1絶縁部上に圧電スタック積層方向に第1導電部を設けることで構成されており,また,第1側面電極は,一つおきに内部電極層を導通させており,上記第2側面電極は,他の側面における上記第1絶縁部を設けていない内部電極層の端部に対し第2絶縁部を設けて端部を被覆し,上記第2絶縁部上に圧電スタック積層方向に第2導電部を設けることで構成されており,また,さらに,第2側面電極は,一つおきに内部電極層を導通させており,上記第1及び第2絶縁部は絶縁性樹脂より構成されており,上記第1及び第2導電部は導電性樹脂より構成されていることを特徴とする積層型圧電体素子。

IPC (2件)：

H01L 41/083 , H01L 41/22

FI (3件)：

H01L 41/08 S , H01L 41/08 Q , H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平3-072684
特開平2-203578
積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-181790 出願人：住友金属工業株式会社

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