特許
J-GLOBAL ID：200903078192044140
感光性樹脂組成物およびそれを用いたパターンの形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-342252
公開番号（公開出願番号）：特開2005-107314
出願日： 2003年09月30日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】液晶表示素子、集積回路素子、固体撮像素子などの電子部品の保護膜や層間絶縁膜の形成に好適な感光性樹脂組成物に望まれる「透明性、耐熱性、平坦性に優れた保護膜や層間絶縁膜が形成できる上に、塗布性に優れ、現像性にも優れることから大型の基板であっても均一な被膜が容易に形成でき、保存安定性がよい」という特性をより一層向上させた感光性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】(a)不飽和カルボン酸または不飽和カルボン酸無水物とエポキシ基含有重合性不飽和化合物の共重合体、(b)スチレンおよび/またはスチレン誘導体の単量体単位と不飽和有機酸の単量体単位とを必須とする重合体、(c)キノンジアジド基含有化合物および(d)有機溶媒とを少なくとも構成分とし、前記(b)の重合体の組成比の平均値から3%より外れた組成比の重合体の該(b)の重合体に対する含有割合を20質量%以下とする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)不飽和カルボン酸または不飽和カルボン酸無水物とエポキシ基含有重合性不飽和化合物の共重合体、(b)スチレンおよび/またはスチレン誘導体の単量体単位と不飽和有機酸の単量体単位とを必須とする重合体、(c)キノンジアジド基含有化合物および(d)有機溶媒を含有してなる感光性樹脂組成物であって、
前記(b)の重合体の組成比の平均値から3%より外れた組成比の重合体の該(b)の重合体に対する含有割合が20質量%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F7/033
, G03F7/004
, G03F7/022
G03F7/033
, G03F7/004 501
, G03F7/022
2H025AA04
, 2H025AA10
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB51
, 2H025CB55
, 2H025CC03
, 2H025DA19
, 2H025FA03
, 2H025FA17
