特許
J-GLOBAL ID：200903078197504344

カセット装置とこれを用いた薄型基板移載システム

発明者：
仲子 透

仲子 透 について

, 
南 善勝

南 善勝 について

, 
小俣 敏雄

小俣 敏雄 について


出願人/特許権者：
株式会社安川電機

株式会社安川電機 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-379820
公開番号（公開出願番号）：特開2005-142480
出願日： 2003年11月10日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】 低い高さで多数の液晶ガラス基板などの薄型基板を収納することができるカセット装置および薄型基板移載システムを提供する。【解決手段】 固定座と、固定座に、昇降装置を用いて上下方向に駆動可能に支持された可動座と、可動座に、垂直方向に取り付けられた複数の支柱と、各支柱に重置された、前方が開口したコ字状のスライド可能な複数段の基板受け座と、各基板受け座の側部の内側に、幅方向に相対向する部分を、前後方向に所定の間隔をあけてワイヤで繋いで形成した複数本の基板受けとを有する基板支持部と、薄型基板を搬入、搬出時に仮に載置する基板仮受け座と、基板仮受け座の上下に、基板の搬入、搬出時のスペースを作り出す支持機構とを備えて構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板搬送ロボットのアーム先端に取付けたフォーク上に薄型基板を載置して、複数の薄型基板を多段に収納するカセット内に前記フォークを挿入して、前記薄型基板をカセット内に搬入、あるいはカセット内から搬出するカセット装置において、 固定座と、 前記固定座に、昇降装置を用いて上下方向に駆動可能に支持された可動座と、 前記可動座に、垂直方向に取り付けられた複数の支柱と、 前記各支柱に重置された、前方が開口したコ字状のスライド可能な複数段の基板受け座をそれぞれ有し、各基板受け座の側部の内側に、幅方向に相対向する部分を、前後方向に所定の間隔をあけてワイヤで繋いで形成した複数本の基板受けを設け、前記基板受けによって前記薄型基板を支持する基板支持部と、 前記可動座が最上部まで上昇したときに最下段の基板受け座の基板受けよりも下に位置し、かつ、前記ワイヤ間のスペースに位置するように、前記固定座に、垂直方向に配置された複数の基板仮受け座と、 前記基板仮受け座上面の横の、薄型基板を搬入または搬出する段の基板受け座よりも1段上の上部基板受け座を支持可能な機構を有し、前記上部基板受け座を支持し、かつ、前記可動座を所定量下降させたときに、前記上部基板受け座の基板受けと前記基板仮受け座との間に、フォークの上面に載置した前記薄型基板を搬入または搬出する第1のスペースを形成し、かつ、前記基板仮受け座の上面と下降させた最上部の段の下部基板受け座の基板受けとの間に、フォークをカセット装置内に挿入する第2のスペースを形成する支持機構と、 を備えたことを特徴とするカセット装置。
IPC (1件)：
H01L21/68
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (12件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031GA41 ,  5F031PA02 ,  5F031PA18 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)
  • 半導体製造装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-037739   出願人：日本電気株式会社
  • 産業ロボット装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-333061   出願人：三菱電機株式会社

前のページに戻る

TOP

BOTTOM