特許
J-GLOBAL ID:200903042917699690
産業ロボット装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高田 守 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-333061
公開番号(公開出願番号):特開2000-158247
出願日: 1998年11月24日
公開日(公表日): 2000年06月13日
要約:
【要約】【課題】 複数枚の基板を上下方向に空隙を形成して保持した保持枠の全高を増すことなく、基板を容易に搬出入できる産業ロボット装置を得る。【解決手段】 進退動作する把持機構2を有する産業ロボット近くに置台5を設け、置台5に複数枚の基板14を保持した保持枠7を載置する。また、基板14を支持する昇降手段16を置台5に設ける。そして、昇降手段16により基板14の下面を把持する把持機構2の進退動作に対応した高さに、保持枠7の下部部材12と最下段の基板14との間の空間を拡大するものである。これによって、把持機構2自体の高さと拡大した上記空間との間の余裕が大きくなる。このため、保持枠7に対して基板14の搬出入作業を容易に行うことができ、産業ロボットによる作業能率を向上する。
請求項(抜粋):
進退動作する把持機構を有する産業ロボットと、この産業ロボット近くに設置された置台と、複数枚の基板を互いに上下方向に空隙を形成して保持し上記置台に載置される保持枠と、上記置台に配置されて上記保持枠の最下段に配置された上記基板を支持し、上記基板の下面を把持する上記把持機構の進退動作に対応した高さに、上記保持枠の下部部材と上記最下段の基板との間の空間を拡大する昇降手段とを備えた産業ロボット装置。
Fターム (2件):
引用特許:
審査官引用 (9件)
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ウエハの移載装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-188340
出願人:東京エレクトロン相模株式会社
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ウエハ移載装置および移載方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-044142
出願人:山形日本電気株式会社
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基板搬送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-251912
出願人:大日本スクリーン製造株式会社
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