特許
J-GLOBAL ID：200903078221209480
ディスク装置用薄膜圧電体アクチュエーターおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-147118
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332041
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：
【要約】【課題】 薄膜圧電体アクチュエーターを容易に製造することができ、しかも、薄膜圧電体素子への電源供給の信頼性を向上させる。【解決手段】 回転駆動されるディスクに対して少なくともデータの再生を行うヘッド(図示せず)を変位させるディスク装置用薄膜圧電体アクチュエーター5Aにおいて、薄膜圧電体用基板1を構成する銅板8の表面に薄膜圧電体素子4Aを、直接、接着剤10によって導電状態で接着させる。薄膜圧電体素子4Aが接着される銅板8の表面には、高低差が0.4μm以上の凹凸形状を付与する。銅板8の表面凹凸形状を、サンドブラストプロセスにより付与する。
請求項（抜粋）：
回転駆動されるディスクに対して少なくともデータの再生を行うヘッドが基板上に設けられたヘッド支持機構において、薄膜圧電体素子によって、基板を変形させて該ヘッドを変位させるディスク装置用薄膜圧電体アクチュエーターであって、基板を構成する金属板に薄膜圧電体素子が、直接、導電状態で接着されており、薄膜圧電体素子が接着される金属板の表面が凹凸形状になっていることを特徴とする薄膜圧電体アクチュエーター。
IPC (5件)：
G11B 21/02 601
, G11B 21/02
, G11B 5/596
, G11B 21/10
, H02N 2/00
G11B 21/02 601 E
, G11B 21/02 601 G
, G11B 5/596
, G11B 21/10 N
, H02N 2/00 B
5D042AA07
, 5D042GA01
, 5D042KA03
, 5D042KA09
, 5D068AA01
, 5D068BB01
, 5D068CC12
, 5D068EE15
, 5D068GG03
, 5D096AA02
, 5D096NN03
