特許
J-GLOBAL ID：200903078233352769

X線透過検査装置

発明者：
田中 弘文

田中 弘文 について

, 
船岩 慶

船岩 慶 について

, 
寺尾 治朗

寺尾 治朗 について


出願人/特許権者：
オーエヌ電子株式会社

オーエヌ電子株式会社 について


代理人 (1件)： 伊藤 英彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-157092
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344312
出願日： 2002年05月30日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：
【要約】【課題】 上面からの一方向だけからの透視画像により、迅速かつ実用的に十分な内容の判定ができ、自動検査に適したX線透過検査装置を提供する。【解決手段】 X線源4によってプリント基板1上からLSI2の半田接合部にX線を照射し、半田接合部を透過したX線透過画像をカメラ5で撮影し、CPU10はX線透過画像から階調画像を作成し、所定レベルの面積と基準となる面積とを比較して、半田の過多,過小を判別し、半田接合部とプリント基板2の接合部とのずれ,半田接合部内に空洞があること,隣接する半田接合部同士が短絡されていること,残された画像があれば、ごみと判定するなど半田接合部の状態を自動検査する。
請求項（抜粋）：
大規模集積回路を基板に半田付したときの球状の半田接合部をX線により検査するX線透過検査装置であって、前記基板上から前記大規模集積回路の半田接合部にX線を照射するX線源と、前記半田接合部を透過したX線透過画像を撮影する撮影手段と、前記撮影手段から出力される半田接合部のX線透過画像から階調画像を作成し、所定レベルで2値化した画像の面積と基準となる面積とを比較して、半田の過多,過少を判別する画像解析手段を備えたことを特徴とする、X線透過検査装置。
Fターム (10件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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