特許
J-GLOBAL ID：200903078247249774
成膜装置用構成部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-299420
公開番号（公開出願番号）：特開平11-124661
出願日： 1997年10月16日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】 成膜装置内に設置される構成部品において、成膜途中には付着する成膜材料が成長し膜厚が増大しても脱落せず、従ってパーティクルを発生させず、メンテナンス時等においては付着成膜材料を容易に脱落させ得る成膜装置用構成部品を提供すること。【解決手段】 アルミニウム合金の板材の片面に縦横の両方向に2mmピッチで幅1mmの溝を掘り、深さを2mmとして形成される凹凸の角を丸めて母材1とする。その凹凸面に、母材1と比較して硫酸に溶解し易い銅を溶射して下層易溶性金属膜2を形成し、その上へSUS420J2を溶射して多孔性金属膜3を形成して成膜装置用構成部品とする。成膜時には付着成膜材料5は脱落せず、メンテナンス時には硫酸に浸漬することにより、硫酸が多孔性金属膜3を経由し浸入して下層易溶性金属膜2を溶解するので、付着成膜材料5は容易に脱落する。
請求項（抜粋）：
金属の板材、もしくは表面に大きさが数ミリメートルまたはミリメートル以下の凹凸を設けた金属の板材を母材とする成膜装置用構成部品において、前記母材の表面に前記母材と比較して無機酸に溶解し易い金属からなる下層易溶性金属膜が形成されており、その上に多孔性金属膜が形成されていることを特徴とする成膜装置用構成部品。
IPC (3件)：
C23C 4/08
, C23C 14/00
, C23C 16/44
C23C 4/08
, C23C 14/00 B
, C23C 16/44 J
