特許
J-GLOBAL ID：200903078258821364

バンプ検査装置

発明者：
村山 啓

村山 啓 について

, 
東 光敏

東 光敏 について


出願人/特許権者：
新光電気工業株式会社

新光電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-357734
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176907
出願日： 1999年12月16日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 頂部が平坦面に形成されたバンプの形状を正確に検知して、高精度の製品検査を可能とする。【解決手段】 頂部が平坦面に形成された複数のバンプ12が配置された被検査体20のバンプ12の形状を検査するバンプ検査装置であって、前記被検査体20のバンプ12に向け、テレセントリック光学系30を経由して前記頂部の平坦面に対して垂直な平行光を投射する照明光学系と、該照明光学系と光軸を一致させて設置したテレセントリック光学系30による観測光学系と、該観測光学系を介して前記被検査体20の所定範囲にわたり前記頂部の平坦面の画像を観測する観測部36と、該観測部36による前記頂部の平坦面の画像に基づいて前記バンプ12の形状を解析する演算処理部38とを備える。
請求項（抜粋）：
頂部が平坦面に形成された複数のバンプが配置された被検査体のバンプの形状を検査するバンプ検査装置であって、前記被検査体のバンプに向け、テレセントリック光学系を経由して前記頂部の平坦面に対して垂直な平行光を投射する照明光学系と、該照明光学系と光軸を一致させて設置したテレセントリック光学系による観測光学系と、該観測光学系を介して前記被検査体の所定範囲にわたり前記頂部の平坦面の画像を観測する観測部と、該観測部による前記頂部の平坦面の画像に基づいて前記バンプの形状を解析する演算処理部とを備えたことを特徴とするバンプ検査装置。
IPC (2件)：
H01L 21/60 ,  G01B 11/24
FI (2件)：
H01L 21/92 604 T ,  G01B 11/24 A
Fターム (13件)：
2F065AA24 ,  2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065CC25 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL59 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ31
引用特許：
審査官引用 (4件)
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