パタ-ン欠陥検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125591
公開番号（公開出願番号）：特開平9-312318
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は高感度のパタ-ン欠陥検査を高速でかつ誤検出割合を増大させることなしに行うのに適したパタ-ン欠陥検査装置を提供することにある。【課題解決手段】ウエハ5は電子ビ-ム2で走査され、それによって生じる二次電子信号は画像メモリ10に記憶され、その記憶された信号はディスプレイ12を輝度変調する。これによって、ディスプレイ12にはウエハのパタ-ン画像が表示される。画像メモリ12には参照パタ-ン画像が予め記憶されており、この画像と検出されウエハパタ-ン画像は比較され、その差がウエハパタ-ンの欠陥として検出される。前記の電子ビ-ムによるウエハの走査は任意の特定された部分だけが走査とされ、これによって前記目的を達成するようにしている。

請求項（抜粋）：

プロ-ブで試料面上を走査し、それによって得られる前記試料面上に形成されたパタ-ンの情報にもとづいてそのパタ-ンの欠陥を検査するパタ-ン欠陥検査装置において、前記プロ-ブによる前記試料面上の走査を、その面上の任意に特定された部分について行うようにしたことを特徴とするパタ-ン欠陥検査装置。

IPC (6件)：

H01L 21/66 , G01B 15/00 , G01N 37/00 , G01R 31/26 , G01R 31/302 , G06T 7/00

FI (7件)：

H01L 21/66 J , G01B 15/00 B , G01N 37/00 F , G01R 31/26 J , G01R 31/28 L , G06F 15/62 405 A , G06F 15/70 455 A

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭59-154020
特開平3-235949
特開昭63-210606

全件表示

前のページに戻る