特許
J-GLOBAL ID：200903078401517680
静電気測定装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原田 信市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-106793
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304862
出願日： 1998年04月16日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 測定領域及びその周辺の電界を乱したりセンサの検出電極が帯電するというようなことなく、リアルタイムで的確かつ精度良く測定でき、また測定器の校正を簡単に行える静電気測定装置を提供する。【解決手段】 プローブAと、これに対して着脱自在な校正用チェッカCと測定器Bとからなる。プローブAは、検出電極及び静電気検出回路を内蔵したセンサを、気体噴出用のエアーパージ孔を先端に設けたエアーパージケース1中に収容したものである。測定器Bは、センサからの出力により電界や電位や電荷量等の静電気的変量を測定する。校正用チェッカCは、金属平板及びこれに直流高電圧を印加する直流高電圧発生回路を内蔵したものである。この校正用チェッカをエアーパージケース1の先端部に装着し、金属平板を模擬帯電物体としてその静電気をセンサで検出すると、測定器の校正が行える。
請求項（抜粋）：
検出電極及び静電気検出回路をセンサケースに内蔵したセンサを、気体噴出用のエアーパージ孔を先端に設けたエアーパージケース中に収容したプローブと、前記センサからの出力により電界や電位や電荷量等の静電気的変量を測定する測定器と、前記エアーパージケースの先端部に着脱自在に装着することができるチェッカケースに、金属平板及びこれに直流高電圧を印加する直流高電圧発生回路を内蔵した校正用チェッカとからなり、この校正用チェッカをエアーパージケースの先端部に装着し、金属平板を模擬帯電物体としてその静電気をセンサで検出することにより、測定器の校正を行えるようにしたことを特徴とする静電気測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 29/24 Z
, G01R 35/00 K
