特許
J-GLOBAL ID：200903078441530832
液晶表示装置およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-360607
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180894
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】 分割露光方式で製作される液晶表示装置において、分割領域の境界に生じる表示ムラを目立たなくする。【解決手段】 透明の絶縁性基板上に金属膜で形成された複数本の走査線と、走査線の上または下に絶縁膜で電気的に分離され走査線と交差して形成される複数本のデータ線と、上記走査線とデータ線の各交点に半導体層で形成されるスイッチング素子と、スイッチング素子と電気的に接続される透明導電性膜で形成された画素電極からなるTFTアレイ基板と、対向する基板との間に液晶を挟持してなる液晶表示装置において、TFTアレイ基板上のパターニング方法として分割露光方式を用い、液晶表示装置の表示領域内の隣接する露光領域の一部が互いに重なり合い、上下左右の四重に重なった露光領域内でのショット配置は、上下左右の2次元方向において、特定のショットの領域に近い部分ほど当該ショットが多数分布するように配置する。
請求項（抜粋）：
透明の絶縁性基板上に金属膜で形成された複数本の走査線と、走査線の上または下に絶縁膜で電気的に分離され走査線と交差して形成される複数本のデータ線と、上記走査線とデータ線の各交点に半導体層で形成されるスイッチング素子と、スイッチング素子と電気的に接続される透明導電性膜で形成された画素電極からなるTFTアレイ基板と、対向する基板との間に液晶を挟持してなる液晶表示装置において、TFTアレイ基板上のパターニング方法として分割露光方式を用い、液晶表示装置の表示領域内の隣接する露光領域の一部が互いに重なり合い、重なった露光領域内でのショット配置は、特定のショットの領域に近い部分ほど当該ショットが多数分布するように配置する液晶表示装置の製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/13 101
G02F 1/136 500
, G02F 1/13 101
2H088HA04
, 2H088HA08
, 2H088HA14
, 2H088MA04
, 2H092GA05
, 2H092JA24
, 2H092JB56
, 2H092KB25
, 2H092NA01
, 2H092PA09
