特許

J-GLOBAL ID：200903078560496448

フッ化物結晶の製造装置及び製造法並びにルツボ

発明者： 市崎 敏夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-063952
公開番号（公開出願番号）：特開平10-330192
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、結晶中に残留する不純物やスカベンジャー等を効率良く除去し、透過率の高いフッ化物結晶を製造し得るフッ化物結晶の製造装置及び製造法並びに成長用のルツボを提供することを目的とする。【解決手段】 原料にスカベンジャーを添加し、原料精製を行なう工程において、原料精製に用いるルツボを複数に分割し多段にしたことを特徴とする。また、記ルツボの側壁部にガス抜き穴を設けたことを特徴とする。また、本発明のルツボは、側壁部にガス抜き穴を少なくとも2以上有することを特徴とする。また、底面中心部に接続穴を有するルツボであって、側壁部にガス抜き穴を少なくとも2以上有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

原料にスカベンジャーを添加し、原料精製を行なう工程において、原料精製に用いるルツボを複数に分割し多段にしたことを特徴とするフッ化物結晶の製造装置。

IPC (3件)：

C30B 29/12 ,  C30B 11/00 ,  G02B 1/02

FI (3件)：

C30B 29/12 ,  C30B 11/00 C ,  G02B 1/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• シリコン単結晶引上げ用石英ルツボとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-283983   出願人：三菱マテリアルクォーツ株式会社
• フッ化カルシウム結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-136515   出願人：株式会社ニコン, 応用光研工業株式会社