光検出器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉浦正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-204224
公開番号（公開出願番号）：特開平8-051232
出願日： 1994年08月05日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】光検出の高速化、低雑音化、低消費電力化および高感度化が可能な光検出器を実現する。【構成】フォトダイオードPDと微小トンネル接合により構成された単一電子トランジスタSETとにより光検出器を構成し、フォトダイオードPDの出力を単一電子トランジスタSETを用いて増幅する。

請求項（抜粋）：

フォトダイオードと、微小トンネル接合により構成された単一電子トランジスタとを有し、上記単一電子トランジスタを用いて上記フォトダイオードの出力を増幅するように構成されていることを特徴とする光検出器。

IPC (3件)：

H01L 31/10 , H01L 27/146 , H01L 29/66

FI (2件)：

H01L 31/10 A , H01L 27/14 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

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