特許
J-GLOBAL ID：200903078710606603
電子放出素子の製造方法、電子管の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有賀 正光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-274682
公開番号（公開出願番号）：特開2008-097842
出願日： 2006年10月06日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
【課題】カーボンナノチューブ等の繊維状カーボンからなる電子放出素子の製造方法において、従来の活性化方法よりも、エミッションサイト数を増加させることができる活性化方法を提供すること。【解決手段】カソード基板1とアノード基板2を、活性化ガスを導入した減圧雰囲気中に対向させて配置し、カソード導体12とアノード導体22に逆バイアス電圧を印加する。即ちカソード導体12に正電圧を印加し、アノード導体22に負電圧を印加する。繊維状カーボンとカーボン不純物を含むペーストを塗布し乾燥して形成したカーボン層13は、表面が荒れて(破壊して)、繊維状カーボン141,142が露出する。その後図1(c)のカソード基板1の長い繊維状カーボン141は、均一化方法によって先端を除去して繊維状カーボン142と同程度の長さに揃える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
カソード導体に繊維状カーボンとカーボン不純物を含むペーストを塗布し乾燥したカーボン層を形成してあるカソード基板とアノード基板を、活性化ガスを導入した減圧雰囲気中に対向させて配置し、カソード基板のカソード導体とアノード基板のアノード導体に逆バイアス電圧を印加してカーボン層を活性化することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/02
, H01J 31/15
, H01J 31/12
, H01J 9/26
H01J9/02 B
, H01J31/15 C
, H01J31/12 C
, H01J9/26 A
5C012AA04
, 5C012BC03
, 5C036EE19
, 5C036EG12
, 5C127AA01
, 5C127AA20
, 5C127BA09
, 5C127BA13
, 5C127BA15
, 5C127BB07
, 5C127BB08
, 5C127CC03
, 5C127DD90
, 5C127DD92
