特許
J-GLOBAL ID：200903078780694216
カーボンナノチューブ集合体配列膜及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-077399
公開番号（公開出願番号）：特開2003-277030
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：
【要約】【課題】導電性を有する各種基板材料の表面上に、カーボンナノチューブを形成する際に、従来この種の分野で用いられてきた煩雑な手段であるマスキングやリソグラフィーといった技術を用いることなく、直接基板上に形成されたカーボンナノチューブの凝集体及びその製造方法の提供。【解決手段】カーボンナノチューブが円錐状物質として、密に成長・凝集させ、自己組織化された状態で得られものであるカーボンナノチューブのサイズが、直径50nm以下(50nmを除く)であり、面密度が0.5~3.0×109本/mm2の範囲にあり、かつ円錐状物質を形成していることを特徴とするカーボンナノチューブ集合体配列膜。炭化水素ガスをプラズマアシストCVD法により処理し、カーボンナノチューブを円錐状物質として、蜜に成長・凝集させ、自己組織化された状態で得られものであることを特徴とするカーボンナノチューブ集合体配列膜及びその製造方法。
請求項（抜粋）：
カーボンナノチューブが円錐状物質として、密に成長・凝集させ、自己組織化された状態で得られものであるカーボンナノチューブのサイズが、直径50nm以下(50nmを除く)であり、面密度が0.5~3.0×109本/mm2の範囲にあり、かつ円錐状物質を形成していることを特徴とするカーボンナノチューブ集合体配列膜。
Fターム (12件)：
4G146AA11
, 4G146AB07
, 4G146AC03A
, 4G146AC14A
, 4G146AC30A
, 4G146AD23
, 4G146AD29
, 4G146BA12
, 4G146BA42
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC44
