特許
J-GLOBAL ID:200903078807041325

光磁気記録媒体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 曉司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-092429
公開番号(公開出願番号):特開平9-282728
出願日: 1996年04月15日
公開日(公表日): 1997年10月31日
要約:
【要約】【課題】 磁気誘導超解像による高密度記録に好適な高CNRと高い記録磁区安定性を兼ね備えた光磁気記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】 基板上に磁性膜からなる再生層と垂直磁化膜からなる記録層を有する磁気誘導超解像型光磁気記録媒体を製造するに当たり、再生層は希土類金属と遷移金属を含有する合金ターゲットをスパッタリングして基板に堆積させることにより形成し、記録層は希土類金属のターゲットと遷移金属のターゲットを別に用意し、これらのターゲットをスパッタリングして、基板に希土類金属層と遷移金属層を交互に堆積させることにより形成することを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
請求項(抜粋):
基板上に磁性膜からなる再生層と垂直磁化膜からなる記録層を有する磁気誘導超解像型光磁気記録媒体を製造するに当たり、再生層は希土類金属と遷移金属を含有する合金ターゲットをスパッタリングして基板に堆積させることにより形成し、記録層は希土類金属のターゲットと遷移金属のターゲットを別に用意し、これらのターゲットをスパッタリングして、基板に希土類金属層と遷移金属層を交互に堆積させることにより形成することを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
引用特許:
審査官引用 (2件)

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