特許
J-GLOBAL ID:200903078817833351
圧電振動片と圧電デバイスならびにジャイロセンサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
岡▲崎▼ 信太郎
, 新井 全
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-118400
公開番号(公開出願番号):特開2006-148856
出願日: 2005年04月15日
公開日(公表日): 2006年06月08日
要約:
【課題】振動バランスを改善し、CI値を低く抑えることができるようにした圧電振動片と圧電デバイスを提供すること。【解決手段】圧電材料で形成した基部51と、この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕34,35と、前記各振動腕に形成された長さ方向に延びる長溝および長溝に形成された駆動用電極とを備え、前記各振動腕には、その長さ方向に延びる仮想の中心線C1に関して、左右の構造の剛性バランスを調整する調整構造61,62を備える。【選択図】 図5
請求項(抜粋):
圧電材料で形成した基部と、
この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕と、
前記各振動腕に形成された長さ方向に延びる長溝および長溝に形成された駆動用電極と
を備え、
前記各振動腕には、その長さ方向に延びる仮想の中心線に関して、左右の構造の剛性バランスを調整する調整構造を備える
ことを特徴とする圧電振動片。
IPC (4件):
H03H 9/215
, G01C 19/56
, G01P 9/04
, H03H 9/19
FI (4件):
H03H9/215
, G01C19/56
, G01P9/04
, H03H9/19 J
Fターム (20件):
2F105BB04
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
, 5J108AA06
, 5J108AA09
, 5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC08
, 5J108CC09
, 5J108CC12
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108FF05
, 5J108FF14
, 5J108GG03
, 5J108GG16
, 5J108KK07
引用特許:
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