走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-001222
公開番号（公開出願番号）：特開2002-206999
出願日： 2001年01月09日
公開日（公表日）： 2002年07月26日
要約：

【要約】【課題】試料表面を走査するとき探針が横方向の力を受けず、高速測定が可能で、探針の磨耗を低減した走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】探針15を有するカンチレバー14、試料17と探針の間隔を変化させるZ微動部13bと、試料と探針の間で試料表面方向に相対変位を与えるXY走査制御部19と、カンチレバーで生じる変位を検出する変位検出手段21,22と、Z方向制御部20とを備える。探針・試料間で作用する物理量によりカンチレバーに撓み変形が生じたとき、カンチレバーの変位を変位検出手段で検出し、カンチレバーの変位が設定値になるように制御する。探針を高さ方向に2つの周波数で運動させる信号をZ微動部に与える2周波信号生成部27を備えている。

請求項（抜粋）：

試料に対向する探針を有するカンチレバーと、前記試料と前記探針の間隔を変化させる微動部と、前記試料と前記探針の間で試料表面方向に相対変位を与える走査制御部と、前記カンチレバーで生じる変位を検出する変位検出手段と、制御手段とを備え、前記探針と前記試料の間で作用する物理量により前記カンチレバーに変形が生じたとき、この変形に伴う前記カンチレバーの変位を前記変位検出手段で検出し、前記制御手段で前記カンチレバーの変位が設定された一定値になるように制御することにより、前記試料の表面の物理量を測定する走査型プローブ顕微鏡において、前記探針を高さ方向に少なくとも2つの周波数で運動させる信号を前記微動部に与える2周波信号生成部を備え、この2周波信号生成部により前記探針を高さ方向に少なくとも2つの周波数で運動させ、第1の前記周波数で前記探針が前記試料に接近するとき前記探針と前記試料の表面との間で生じる前記物理量を検出するようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 13/10 , G01N 13/16

FI (2件)：

G01N 13/10 C , G01N 13/16 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

サンプリング走査プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-201901 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
特開平1-169304
特開平1-169304

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