走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-079814
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248039
出願日： 1995年03月10日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】走査型プローブ顕微鏡で、試料表面における例えば数百ミクロンの大きな範囲を高速に走査して短時間で測定する。【構成】カンチレバー15の先部に設けられた探針16を所望の一定の距離で試料11の表面に接近させ、その一定距離を保ちながら探針によって試料表面を走査し、この走査中に探針に振幅が次第に増大する振動を断続的に与え、探針の振動における最大ピーク値と探針および試料表面の間の距離との関係を表す表などの変換データに基づいて試料表面の凹凸形状(プロファイル)に関する情報を求めるようにした。

請求項（抜粋）：

カンチレバーの先部に設けられた探針を或る距離で試料の表面に接近させ、前記距離を保ちながら前記探針を前記試料表面に沿って走査移動させて前記試料表面の形状に関する情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、前記探針に振幅が次第に増大する振動を断続的に与える加振手段と、前記探針の位置変化を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段の出力信号から最大ピーク値を検出する振幅ピーク検出手段と、変換データを予め記憶する記憶手段と、前記変換データに基づいて前記振幅ピーク検出手段により得られた検出値から前記試料の表面形状を求める処理手段と、からなることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 A , G01B 21/30 Z , H01J 37/28 Z

引用特許：

出願人引用 (30件)

特開昭64-015601
特開昭63-281002
光記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-241438 出願人：セイコー電子工業株式会社

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