特許
J-GLOBAL ID：200903079733800705
サンプリング走査プローブ顕微鏡
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-201901
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044697
出願日： 1997年07月28日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 試料の損傷を低減することができ、また探針の寿命を長くすることのできるサンプリング走査プローブ顕微鏡を提供することにある。【解決手段】 xy走査ユニット26はCPU23から供給される、観察される試料の画郭と、x方向の走査時間と、x方向の画素数とで決まるx方向の走査信号と、y方向の走査信号を生成して、ピエゾ走査装置1に出力する。一方、第2の発振器7は、前記x方向の走査時間と、x方向の画素数とに基づいて決定された周波数の正弦波信号を第2のピエゾ板5に出力する。サンプリングホールド回路13は、前記第2の発振器7出力が最大となる時間から所定時間後のタイミングで探針の観察データをホールドし、差動増幅器21、P.I制御系22に出力する。P.I制御系22の出力信号Qはピエゾ走査装置1のz微動用電極に印加されると共に、A/D変換器24でディジタル信号に変換され、サンプリング的にメモリ23に記憶される。
請求項（抜粋）：
試料面に平行なx,y方向の走査と、該試料面に垂直なz方向の移動とを該試料面に対して相対的に行える探針を備えたサンプリング走査プローブ顕微鏡において、少なくとも、観察する試料の画郭と、x方向の走査時間と、x方向の画素数とで決まるx方向の走査信号を生成する手段と、少なくとも、前記x方向の走査時間と、前記x方向の画素数とで決まる第2の周波数で前記探針をz方向に移動させる手段と、該探針が該試料表面に近接または接触した時点における観測データをサンプリングホールドする手段と、該サンプリングホールドした観測データを、予め定められたタイミングで採取する手段とを具備したことを特徴とするサンプリング走査プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (6件)
-
特開平2-005340
-
特開平2-005340
-
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-045574
出願人：オリンパス光学工業株式会社
全件表示
前のページに戻る
