特許
J-GLOBAL ID:200903078877996799

ガス濃度検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 碓氷 裕彦 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-321043
公開番号(公開出願番号):特開2003-254938
出願日: 2002年11月05日
公開日(公表日): 2003年09月10日
要約:
【要約】【課題】センサ個体差や経時変化等に影響されることなく、ガス濃度を精度良く検出すること。【解決手段】ガス濃度センサ100は、第1チャンバー144に導入した排ガス中の酸素を排出又は汲み込むポンプセル110と、該ポンプセル110を通過した後のガスからNOx濃度を検出するためのセンサセル130と、第2チャンバー146内の酸素濃度に応じた出力を発生するモニタセル120とを備える。マイコン170は、ポンプセル110に印加するためのポンプセル電圧を所定電圧幅で増加側又は減少側に段階的に変化させ、モニタセル電流が急変するポンプセル電圧を検出する。また、マイコン170は、該検出した結果に基づいてポンプセル電圧の制御点を決定し、その制御点でポンプセル電圧を制御する。
請求項(抜粋):
チャンバーに導入した被検出ガス中の酸素を排出又は汲み込むためのポンプセルと、ポンプセルを通過した後のガスから特定ガス成分の濃度を検出するためのセンサセルと、チャンバー内の残留酸素濃度を検出するためのモニタセルとを備えるガス濃度センサを用い、ポンプセルへの電圧印加時にセンサセル電流、モニタセル電流を各々計測してその時のセンサセル電流から特定ガス成分の濃度を検出するガス濃度検出装置であって、ポンプセル電圧に対するモニタセル電流の特性上、モニタセル電流が急変するポンプセル電圧を検出する手段と、該検出した結果に基づいてポンプセル電圧の制御点を決定し、その制御点でポンプセル電圧を制御する手段と、を備えたことを特徴とするガス濃度検出装置。
IPC (3件):
G01N 27/416 ,  G01N 27/26 391 ,  G01N 27/419
FI (6件):
G01N 27/26 391 Z ,  G01N 27/46 331 ,  G01N 27/46 327 A ,  G01N 27/46 327 E ,  G01N 27/46 327 G ,  G01N 27/46 327 R
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 特許第2885336号公報
審査官引用 (8件)
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