特許
J-GLOBAL ID：200903078958877549
プローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-010126
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196970
出願日： 1996年01月24日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 探針部の高周波の伝搬特性を改善する。【解決手段】 プローブカードは複数の探針3,リング状のプリント配線2及びリング状の保持台4等より成る。保持台4の探針を保持する側の面はプリント配線板2に交わるテーパ面4aとされ、そのテーパ面の外周縁4a1がプリント配線板2の裏面にほぼ接するように形成される。テーパ面4a上に、探針3を内部導体とし、その内部導体の上下に誘電層13を介してアース板12,14が形成され、これにより探針部はストリップ線路構造とされる。アース板12,14のいずれか一方を省略したマイクロストリップ線路構造としてもよい。
請求項（抜粋）：
複数の探針と、それらの探針にそれぞれ接続された配線パターンを有するリング状のプリント配線板と、そのプリント配線板の中心孔に係合して同心状に取付けられ、前記探針を保持するリング状の保持台とを具備するプローブカードにおいて、前記保持台の前記探針を保持する側のリング状の面は、前記プリント配線板に交わるテーパ面とされ、そのテーパ面の外周縁は前記プリント配線板の一面にほぼ接するように形成され、そのテーパ面上にアース板が形成され、そのアース板上に誘電体層が形成され、その誘電体層の中間に前記探針が配され、前記誘電体層の上に第2のアース板が形成されていることを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
