多孔質アルミナ焼結体およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-100885
公開番号（公開出願番号）：特開2004-315358
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】本発明は、吸着用治具や製膜治具、濾過器等良好な平面度が得られ、表面にゴミがたまりにくく、使用上耐えうる充分な強度を持った高純度多孔質アルミナを提供する。【解決手段】高純度多孔質アルミナ焼結体の出発原料として純度99%以上で平均粒子径が2〜5μmのアルミナ粉末50〜95体積%と、純度99%以上で平均粒子径が1μ以下のアルミナ粉末5〜50体積%とを混合し、プレス成形をした後に1700°C未満で焼結を行うことにより、前記課題を解決した。本発明の多孔質アルミナは真空チャック、フィルター、濾過器、製膜用治具などさまざまな用途に使用することができる。

請求項（抜粋）：

通気孔を有する多孔質アルミナ焼結体において、アルミナ純度が99.5重量%以上であり、平均粒子径が1μm以下のアルミナ粒子と、平均粒子径が2〜5μmのアルミナ粒子との2種の粒子の組み合わせの結合により形成された骨格で通気孔が形成されていることを特徴とする多孔質アルミナ焼結体。

IPC (4件)：

C04B35/10 , B01D39/00 , B01D39/20 , C04B38/00

FI (4件)：

C04B35/10 Z , B01D39/00 B , B01D39/20 D , C04B38/00 303Z

Fターム (17件)：

4D019AA01 , 4D019AA02 , 4D019BA05 , 4D019BB06 , 4D019CB06 , 4G019FA13 , 4G030AA07 , 4G030AA36 , 4G030BA18 , 4G030CA04 , 4G030CA09 , 4G030GA04 , 4G030GA05 , 4G030GA11 , 4G030GA14 , 4G030GA22 , 4G030GA27

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭61-31369号公報
特開昭62-252381号公報
アルミナ多孔体
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-088132 出願人：出光興産株式会社, 岩尾磁器工業株式会社

審査官引用 (6件)

多孔質セラミック体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-041624 出願人：京セラ株式会社
特開昭62-252381
特開昭62-252381

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