特許
J-GLOBAL ID：200903079005246980
2種類混合気体の濃度測定方法及び濃度測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-153979
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330543
出願日： 2000年05月25日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：
【要約】【課題】 従来の混合気体の濃度測定に際して、混合気体の圧力が大気圧以外の時には正確な混合比(濃度)が測定できず、また、熱や光を照射する測定方法では、爆発の危険性のある混合気体は測定できない等の問題があった。【解決手段】 例えば酸素とオゾンのように予め構成する気体が知られているが混合比が不明な2種類混合気体の配管4に対して、例えば隔膜真空計等の絶対圧力を測定する絶対圧力測定子1と、気体の物性値として例えば粘性に敏感な圧力計である水晶摩擦真空計、スピニングロータゲージ、あるいはその他の物性値に敏感な圧力測定子2とを接続し、同時に圧力を測定する。両圧力測定値から混合気体の真の物性値を求め、物性値と濃度の対応データから濃度を求める。
請求項（抜粋）：
予め構成する気体が知られている2種類混合気体の濃度測定方法において、混合気体の濃度に対応した物性値のデータを取得し、物性値に敏感な圧力測定装置により被測定混合気体の圧力を測定し、同時に前記物性値に影響を受けない圧力測定装置により同気体の圧力を測定し、両圧力測定値から混合気体の物性値を求め、該物性値から濃度を求めることを特徴とする2種類混合気体の濃度測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 7/00 C
, G01L 21/00 Z
2F055AA39
, 2F055BB08
, 2F055CC03
, 2F055CC42
, 2F055CC43
, 2F055CC44
, 2F055CC45
, 2F055CC46
, 2F055DD20
, 2F055EE40
, 2F055FF17
, 2F055FF38
, 2F055FF41
, 2F055FF45
