静電浮上式リニア型誘導モータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084879
公開番号（公開出願番号）：特開平9-285142
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】摩擦によるモータ出力の低減や塵埃の発生を防ぐことができる、効率的な静電浮上式リニア型誘導モータを提供する。【解決手段】絶縁基板上に浮上用電極と駆動用電極とが別々となっている固定子10と、この固定子に対向する被駆動体20とを設け、変位センサ31〜36からのフィードバック信号に基づいて制御器40で被駆動体20を安定に浮上させるための電圧を作り出し、固定子10の浮上用電極に印加することにより、被駆動体20を安定浮上させ、近接センサ401〜421からの信号に基づいて浮上用電極への印加電圧を切り換えることにより、安定浮上状態を維持し、駆動用電極に多相交流電圧、または、シーケンス制御される直流電圧を印加することにより、移動電場を形成させ、被駆動体20に誘導される誘導電荷とこの移動電場との間に発生する位相遅れを用いて、被駆動体を非接触状態でリニアに搬送する。

請求項（抜粋）：

静電力を用いた静電浮上式リニア型誘導モータにおいて、(a)絶縁基板上に浮上用電極と駆動用電極とが別々に配置されている固定子と、(b)該固定子に対向する被駆動体と、(c)前記固定子と前記被駆動体とのギャップを検出する変位センサと、(d)前記浮上用電極への印加電圧を制御する制御器と、(e)該制御器からの制御電圧を増幅する浮上用高電圧アンプと、(f)前記被駆動体の搬送位置を検出する近接センサと、(g)前記浮上用電極への印加電圧を切り換える高電圧切換器と、(h)駆動信号を発生する駆動信号発生器と、(i)該駆動信号を増幅する駆動用高電圧アンプとを備え、(j)前記被駆動体の真上にある前記浮上用電極に、前記浮上用高電圧アンプで増幅された制御電圧を印加することにより、前記被駆動体を静電吸引力により浮上させ、前記近接センサから検出された前記被駆動体の搬送位置に基づいて前記浮上用電極への印加電圧を切り換えることにより、安定浮上状態を保ち、前記駆動信号発生器から発生した多相交流電圧、または、シーケンス制御される直流電圧を前記駆動用高電圧アンプを通して前記駆動用電極に印加することにより、移動電場を形成させ、前記被駆動体を浮上した状態で駆動し、前記被駆動体が所定の位置に至ると前記駆動用電極への電圧の供給を遮断することにより、前記被駆動体の移動を停止させ、前記浮上用電極への電圧の供給を遮断することにより、前記被駆動体を前記固定子より離脱させることを特徴とする静電浮上式リニア型誘導モータ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

静電浮上搬送装置及びその静電浮上用電極
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-048175 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 三菱マテリアル株式会社
特開平2-164288
静電浮上リニアモータの案内支持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-173881 出願人：株式会社安川電機

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