特許

J-GLOBAL ID：200903079055968625

物理現象および/または化学現象の検出装置

発明者： 澤田 和明 ,  冨田 勝彦 ,  中西 剛 ,  田邉 裕貴 ,  三村 享 ,  宇野 敏彦
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017821
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201775
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 同一またはほぼ同一の時刻で、同一またはほぼ同一の場所において生じている複数の物理現象および/または化学現象を把握することができる物理現象および/または化学現象の検出装置を提供すること。【解決手段】 半導体基板2の一方の面に、二以上の物理現象および/または化学現象の電気的信号を少なくともほぼ同時に取り込むための物理現象および/または化学現象を検出する現象検出部7を設けている。

請求項（抜粋）：

半導体基板の一方の面に、二以上の物理現象および/または化学現象の電気的信号を少なくともほぼ同時に取り込むための物理現象および/または化学現象を検出する現象検出部を設けたことを特徴とする物理現象および/または化学現象の検出装置。

IPC (14件)：

G01D 5/18 ,  G01J 1/02 ,  G01K 7/01 ,  G01L 9/00 ,  G01N 21/00 ,  G01N 27/00 ,  G01N 27/414 ,  G01N 29/00 ,  G01N 30/00 ,  G01P 15/08 ,  G01R 33/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 29/84 ,  H01L 37/02

FI (14件)：

G01D 5/18 A ,  G01J 1/02 Y ,  G01L 9/00 Z ,  G01N 21/00 B ,  G01N 27/00 J ,  G01N 29/00 ,  G01N 30/00 Z ,  G01P 15/08 Z ,  G01R 33/02 Z ,  H01L 29/84 A ,  H01L 37/02 ,  G01K 7/00 391 M ,  G01N 27/30 301 Z ,  H01L 27/14 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開平2-242121
  
• 特開昭63-263773
  
• 複合薄膜センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-270620   出願人：三菱重工業株式会社, 北陸電気工業株式会社
• 複合センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-333505   出願人：三菱重工業株式会社
• 携帯用電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-192288   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 複合センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-110731   出願人：株式会社日立製作所