特許
J-GLOBAL ID：200903079096295260
圧電振動部品及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-130447
公開番号（公開出願番号）：特開平9-321361
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 焼成体では不可能な高周波領域(焼成体の加工時に割れやクラックが発生する高周波領域)まで使用可能で、小型化が容易な圧電振動部品を提供すること。【解決手段】 圧電材料と、該圧電材料を挟んで対向する少なくとも1対の電極からなる圧電振動部品に於いて、前記圧電材料が、c軸が膜面に垂直な方向に配向している鉛含有ペロブスカイト型強誘電体単結晶膜であることを特徴とする圧電振動部品。
請求項（抜粋）：
圧電材料と、該圧電材料を挟んで対向する少なくとも1対の電極からなる圧電振動部品に於いて、前記圧電材料が、c軸が膜面に垂直な方向に配向している鉛含有ペロブスカイト型強誘電体単結晶膜であることを特徴とする圧電振動部品。
IPC (7件)：
H01L 41/09
, C30B 19/00
, C30B 29/32
, H01L 41/187
, H01L 41/22
, H03H 3/02
, H03H 9/17
H01L 41/08 C
, C30B 19/00 Z
, C30B 29/32 A
, H03H 3/02 B
, H03H 9/17 G
, H01L 41/18 101 D
, H01L 41/22 Z
